我們?yōu)槭裁匆芯堪雽?dǎo)體？半導(dǎo)體憑什么可以成為電子信息行業(yè)的基礎(chǔ)呢？
這就要說(shuō)到半導(dǎo)體的一個(gè)重要特點(diǎn)：可以通過(guò)控制摻雜率來(lái)控制它的導(dǎo)電性

集成電路IC的生產(chǎn)

集成電路IC的生產(chǎn)包括：

IC生產(chǎn)的評(píng)價(jià)體系

評(píng)價(jià)一個(gè)IC的生產(chǎn)結(jié)果，通常采用三個(gè)角度：
1.性能preferance
2.可靠性reliable
3.良率yield

性能的重要參數(shù)使晶圓片上最小特征尺寸feature size，也稱為臨界尺寸CD，等于電子元器件的通道長(zhǎng)度(channel length)
特征尺寸越小，則元件的執(zhí)行速度越快

半導(dǎo)體行業(yè)的分類

晶圓廠

我喜歡將整個(gè)晶圓廠類比為人的消化系統(tǒng)，其中包括藥品，口腔，食道，胃，胃液，營(yíng)養(yǎng)，排泄物

首先來(lái)講藥品
藥品包含了各種各樣的晶圓，比如：產(chǎn)品用晶圓員；測(cè)試用晶圓，會(huì)提前留片；監(jiān)測(cè)用晶圓，用于工藝檢查和顆粒檢查；傳送用檢查晶圓；虛擬晶圓，也稱為晶圓假片
藥品的膠囊在晶圓廠中稱為晶圓傳送盒FOUP，用于運(yùn)輸，保護(hù)，存儲(chǔ)，晶圓
口腔和食道一般就是AMHS自動(dòng)搬運(yùn)晶圓載具automated material handling system，一般布局為海灣式(Bay)式布局
灣內(nèi)搬運(yùn)一般用自動(dòng)引導(dǎo)車AGV automated guiding vehicle
灣間搬運(yùn)OHV，也叫高架車
胃也就是處理藥品的地方，在晶圓廠中叫無(wú)塵室。為了壓低成本，得到了微環(huán)境，也叫局部無(wú)塵。局部無(wú)塵室內(nèi)包含有FOUP,AGV,FFU風(fēng)扇過(guò)濾單元
胃液可以說(shuō)是無(wú)塵室處理這些晶圓的原料或者動(dòng)力
而其中，為了保證無(wú)塵，這些輔機(jī)會(huì)放置于維修區(qū)或者分布樓層
輔機(jī)與制造設(shè)備相接的界面叫平面界面
這些輔機(jī)一般提供原材料（如去離子水，大宗氣體，原料氣體）、能耗等
營(yíng)養(yǎng)就是所謂的晶圓廠產(chǎn)出的各項(xiàng)指標(biāo)，其中包括工藝性能；邊緣排除區(qū)域（要盡量小）；可維護(hù)性；稼動(dòng)率等于實(shí)際運(yùn)行時(shí)間除以理論運(yùn)行時(shí)間；產(chǎn)能，也稱為吞吐量Throughput，定義是單位運(yùn)行時(shí)間內(nèi)處理晶圓的枚數(shù)；占地面積;AEC/APC (advanced equipment /process control), CIM( computer integrated manufacturing) YMS (yield management system)等等生產(chǎn)管理方式